FITOK 模块化气体系统(Integrated Gas System) 是一种用于半导体行业气体控制的集成系统，集成了阀门、接头等管道元件以及其它必要的测量与控制仪器。模块化气体系统采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，进行模块化设计，在缩小设备体积的同时，安装和维护反而变得更简单。